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ssp磨抛机
工位数：2个摇摆工位（可同时工作、不干涉、最大适配4寸夹具）
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序号
主要参数及配置
1
工位数：2个摇摆工位（可同时工作、不干涉、最大适配4寸夹具）
2
盘径：380mm（研磨盘、抛光盘同尺寸）
3
大盘转速：5-75rpm（蜗轮蜗杆减速机、东芝马达）
4
摇摆速度：0-20rpm（步进电机）
5
挡勾强制驱动速度：5-100rpm（Orientalmotor）
6
CPU单元：SIEMENS(自带14点IN/10点OUT）
7
模拟量输出单元: SIEMENS（4点模拟量输出）
8
触摸屏：威纶（7寸屏\工业以太网/支持配方库）
9
变频器：MITSUBISHI ELECTRIC、Orientalmotor
10
电气控制：schneider、欧姆龙、维纶、明纬等
11
配方库：加工配方可储存，使用时直接调用
12
供给方式：蠕动泵、料桶（二氧化硅抛光液、氧化铝研磨液）
13
清洗：自带清洗（程序运行完自动开启冲洗）
14
真空泵：标配、外置（SMC数显真空表）
15
防护罩：标配（预留排风口）
16
防腐：流液槽铁氟龙处理（可耐强酸碱）
17
电压：单相220V、50HZ
18
尺寸：805*930*979（长宽高，暂定）
19
总重量：300KG（暂定）
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